Linde hilft Solar- und Halbleiterherstellern, ihren CO2-Footprint zu reduzieren

Namhafte Hersteller von Photovoltaikmodulen, Halbleitern und TFT-LCDs sowie Forschungseinrichtungen nutzen die Fluor-On-Site-Generatoren von Linde als produktivere und energieeffizientere Alternative zum Treibhausgas NF3 und anderen Per-Fluoro-Compound-Gasen (PFC), die zum Reinigen der Prozesskammern für die chemische Dampfphasenabscheidung (Chemical Vapour Deposition – CVD) eingesetzt werden.

Im Jahr 2009 wurde die von Linde angebotene Vor-Ort-Erzeugung von Fluor erfolgreich auf sämtlichen bedeutenden OEM-Produktionsplattformen für Dünnschicht-PV-Module getestet. Malibu und Masdar PV gehörten zu den ersten Unternehmen, die die Umstellung auf F2 als bevorzugtes Reinigungsgas bei der Herstellung großer PV-Module bekanntgaben. Die Flourgeneratoren für diese beiden Kunden wurden bereits in Betrieb genommen; NF3 wird nun in dem Prozess durch Fluor ersetzt.

„Fluor bietet die seltene Möglichkeit, eine nachhaltige Solarmodul-Produktion mit Wirtschaftlichkeit zu kombinieren. Denn es vermeidet jegliches Risiko von Emissionen, reduziert die nichtproduktive Reinigungszeit und verbessert den Anlagendurchsatz”, so Ian Travis, Globaler Produkt-Manager Fluor bei Linde Gases.

Das Interesse an der Vor-Ort-Erzeugung von Fluor wächst in allen Bereichen der Elektronikindustrie. LG Display in Korea profitierte in gleicher Weise vom Einsatz von Fluor bei der Produktion von TFT-LCDs und stockte die Kapazität seiner Vor-Ort-Fluorerzeugung im Jahr 2009 um 20 Prozent auf. Damit trägt das Unternehmen der wachsenden Nachfrage nach Flachbild-Fernsehgeräten Rechnung. Um das Wachstum Koreas als Zentrum der TFT-LCD-Fertigung zu unterstützen, investiert Linde erhebliche Mittel in die F2-Produktionsinfrastruktur seines Werks Inju.

Im letzten Jahr wurde Europas erste Fluor-Vor-Ort-Erzeugung in der 300-mm-Waferfertigung bei STMicroelectronics in Crolles, Frankreich, installiert. Die Installation war Teil der Initiative des Unternehmens, die Umweltbelastung bei der Halbleiterherstellung zu verringern, indem auf die Lieferung des Gases in Hochdruckbehältern verzichtet wird. Auch ein namhaftes japanisches Halbleiterunternehmen hat sich kürzlich dafür entschieden, seine 300-mm-Fabs nicht mehr mit F2 aus Hochdruckbehältern beliefern zu lassen, sondern das F2 vor Ort zu produzieren. So profitiert man nun von verbesserter Sicherheit und geringeren Kosten. Besonders geeignet ist die Vor-Ort-Erzeugung auch für Standorte, an denen die Logistik- und Distributions-Netzwerke für bestimmte Elektronikmaterialien noch nicht so gut entwickelt sind wie in anderen Regionen. Zur Lösung dieser Probleme installierte der Fernost-Ableger der russischen Akademie der Wissenschaften im Jahr 2009 seinen ersten On-Site-Fluorgenerator.

„Da Umweltfragen in der Öffentlichkeit einen sehr hohen Stellenwert haben“, so Dean O’Connor, Leiter Marktentwicklung & Technologie bei Linde Gases, „muss das gesamte Produktions-Ökosystem seine Anstrengungen auf die Senkung der CO2-Emissionen fokussieren. Unsere Zusammenarbeit mit Branchenführern aus den Bereichen Photovoltaik, Halbleiter und Flachbildschirme sowie den Hochschulen unterstreicht das Engagement von Linde für Technologien und Produkte, die den Nutzen für den Kunden und die nachhaltige Entwicklung miteinander in Einklang bringen.“